2010年成立的明遠精密，主要提供臭氧供氣系統、遠端電漿源、射頻電源等半導體製程設備關鍵子系統開發及技術維修服務，並以自有品牌Fitness對外銷售，應用於化學氣相沉積（CVD）和原子層沉積（ALD）等關鍵製程，2024年12月16日轉上櫃掛牌。

明遠精密2025年營運動能暫歇，上半年合併營收3.42億元、年減11.67％，稅後淨利0.26億元、年減達53.74％，每股盈餘0.78元。8月自結合併營收5495萬元，月增5.56％、年減15.1％，為近3月高，前8月合併營收4.49億元、年減12.06％。

明遠精密上半年毛利率、營益率降至31.51％、8.94％，公司先前表示毛利下滑主要受2影響，一是射頻電源系統（ACME）的毛利相對較低，二是自行開發舊設備的關鍵維修品項重要部件，初期料件成本較高所致。

展望2025年，明遠精密聚焦技術服務領域精進、國際客戶業務與中國大陸市場拓展等3大方向，持續提升主要品項在重點客戶的技術維修占比、加速新維修品項研修，並致力拓展海外客戶訂單，盼使整體營運表現持穩續揚。